北京高格智勝科技有限公司

云南雙靶磁控濺射技術(shù)

發(fā)布時間:    來源:北京高格智勝科技有限公司   閱覽次數(shù):427次

PVD技術(shù)特征如下:在真空室內(nèi)充入放電所需要的惰性氣體,在高壓電場作用下氣體分子因電離而產(chǎn)生大量正離子。帶電離子被強電場加速,便形成高能量的離子流轟擊蒸發(fā)源材料。在離子轟擊下,蒸發(fā)源材料的原子將離開固體表面,以高速度濺射到基片上并沉積成薄膜。RF濺射:RF濺射使用的頻率約為13.56MHz,它不需要熱陰極,能在較低的氣壓和較低的電壓下進行濺射。RF濺射不只可以沉積金屬膜,而且可以沉積多種材料的絕緣介質(zhì)膜,因而使用范圍較廣。電弧離子鍍:陰極弧技術(shù)是在真空條件下,通過低電壓和高電流將靶材離化成離子狀態(tài),從而完成薄膜材料的沉積,該技術(shù)材料的離化率更高,薄膜性能更加優(yōu)異。射頻磁控濺射,又稱射頻磁控濺射,是一種制備薄膜的工藝,特別是在使用非導電材料時。云南雙靶磁控濺射技術(shù)

云南雙靶磁控濺射技術(shù),磁控濺射

高速率磁控濺射的一個固有的性質(zhì)是產(chǎn)生大量的濺射粒子而獲得高的薄膜沉積速率,高的沉積速率意味著高的粒子流飛向基片,導致沉積過程中大量粒子的能量被轉(zhuǎn)移到生長薄膜上,引起沉積溫度明顯增加。由于濺射離子的能量大約70%需要從陰極冷卻水中帶走,薄膜的較大濺射速率將受到濺射靶冷卻的限制。冷卻不但靠足夠的冷卻水循環(huán),還要求良好的靶材導熱率及較薄膜的靶厚度。同時高速率磁控濺射中典型的靶材利用率只有20%~30%,因而提高靶材利用率也是有待于解決的一個問題。山西射頻磁控濺射儀器磁控濺射的優(yōu)點如下:操作易控。

云南雙靶磁控濺射技術(shù),磁控濺射

磁控濺射技術(shù)有:直流磁控濺射技術(shù)。為了解決陰極濺射的缺陷,人們在20世紀70年發(fā)出了直流磁控濺射技術(shù),它有效地克服了陰極濺射速率低和電子使基片溫度升高的弱點,因而獲得了迅速發(fā)展和普遍應用。其原理是:在磁控濺射中,由于運動電子在磁場中受到洛侖茲力,它們的運動軌跡會發(fā)生彎曲甚至產(chǎn)生螺旋運動,其運動路徑變長,因而增加了與工作氣體分子碰撞的次數(shù),使等離子體密度增大,從而磁控濺射速率得到很大的提高,而且可以在較低的濺射電壓和氣壓下工作,降低薄膜污染的傾向;另一方面也提高了入射到襯底表面的原子的能量,因而可以在很大程度上改善薄膜的質(zhì)量。同時,經(jīng)過多次碰撞而喪失能量的電子到達陽極時,已變成低能電子,從而不會使基片過熱。因此磁控濺射法具有“高速、“低溫”的優(yōu)點。

磁控濺射的工藝研究:1、功率。每一個陰極都具有自己的電源。根據(jù)陰極的尺寸和系統(tǒng)設計,功率可以在0~150KW之間變化。電源是一個恒流源。在功率控制模式下,功率固定同時監(jiān)控電壓,通過改變輸出電流來維持恒定的功率。在電流控制模式下,固定并監(jiān)控輸出電流,這時可以調(diào)節(jié)電壓。施加的功率越高,沉積速率就越大。2、速度。另一個變量是速度。對于單端鍍膜機,鍍膜區(qū)的傳動速度可以在每分鐘0~600英寸之間選擇。對于雙端鍍膜機,鍍膜區(qū)的傳動速度可以在每分鐘0~200英寸之間選擇。在給定的濺射速率下,傳動速度越低則表示沉積的膜層越厚。3、氣體。較后一個變量是氣體,可以在三種氣體中選擇兩種作為主氣體和輔氣體來進行使用。磁控濺射是一種目前應用十分普遍的薄膜沉積技術(shù)。

云南雙靶磁控濺射技術(shù),磁控濺射

射頻磁控濺射是一種制備薄膜的工藝,特別是在使用非導電材料時,薄膜是在放置在真空室中的基板上生長的。強大的磁鐵用于電離目標材料,并促使其以薄膜的形式沉淀在基板上。使用鉆頭的人射頻磁控濺射過程的第一步是將基片材料置于真空中真空室。然后空氣被移除,目標材料,即構(gòu)成薄膜的材料,以氣體的形式釋放到腔室中。這種材料的粒子通過使用強大的磁鐵被電離?,F(xiàn)在以等離子體的形式,帶負電荷的靶材料排列在基底上形成薄膜。薄膜的厚度范圍從幾個原子或分子到幾百個。磁鐵有助于加速薄膜的生長,因為對原子進行磁化有助于增加目標材料電離的百分比。電離原子更容易與薄膜工藝中涉及的其他粒子相互作用,因此更有可能在基底上沉積。這提高了薄膜工藝的效率,使它們能夠在較低的壓力下更快地生長。磁控濺射普遍應用于化合物薄膜的大批量生產(chǎn)。天津直流磁控濺射處理

空磁控濺射技術(shù)是指一種利用陰極表面配合的磁場形成電子陷阱,使E×B的作用下電子緊貼陰極表面飄移。云南雙靶磁控濺射技術(shù)

磁控濺射包括很多種類。各有不同工作原理和應用對象。但有一共同點:利用磁場與電場交互作用,使電子在靶表面附近成螺旋狀運行,從而增大電子撞擊氬氣產(chǎn)生離子的概率。所產(chǎn)生的離子在電場作用下撞向靶面從而濺射出靶材。靶源分平衡式和非平衡式,平衡式靶源鍍膜均勻,非平衡式靶源鍍膜膜層和基體結(jié)合力強。平衡靶源多用于半導體光學膜,非平衡多用于磨損裝飾膜。磁控陰極按照磁場位形分布不同,大致可分為平衡態(tài)磁控陰極和非平衡態(tài)磁控陰極。平衡態(tài)磁控陰極內(nèi)外磁鋼的磁通量大致相等,兩極磁力線閉合于靶面,很好地將電子/等離子體約束在靶面附近,增加了碰撞幾率,提高了離化效率,因而在較低的工作氣壓和電壓下就能起輝并維持輝光放電,靶材利用率相對較高。但由于電子沿磁力線運動主要閉合于靶面,基片區(qū)域所受離子轟擊較小。非平衡磁控濺射技術(shù),即讓磁控陰極外磁極磁通大于內(nèi)磁極,兩極磁力線在靶面不完全閉合,部分磁力線可沿靶的邊緣延伸到基片區(qū)域,從而部分電子可以沿著磁力線擴展到基片,增加基片區(qū)域的等離子體密度和氣體電離率。云南雙靶磁控濺射技術(shù)

廣東省科學院半導體研究所正式組建于2016-04-07,將通過提供以微納加工技術(shù)服務,真空鍍膜技術(shù)服務,紫外光刻技術(shù)服務,材料刻蝕技術(shù)服務等服務于于一體的組合服務。是具有一定實力的電子元器件企業(yè)之一,主要提供微納加工技術(shù)服務,真空鍍膜技術(shù)服務,紫外光刻技術(shù)服務,材料刻蝕技術(shù)服務等領域內(nèi)的產(chǎn)品或服務。我們強化內(nèi)部資源整合與業(yè)務協(xié)同,致力于微納加工技術(shù)服務,真空鍍膜技術(shù)服務,紫外光刻技術(shù)服務,材料刻蝕技術(shù)服務等實現(xiàn)一體化,建立了成熟的微納加工技術(shù)服務,真空鍍膜技術(shù)服務,紫外光刻技術(shù)服務,材料刻蝕技術(shù)服務運營及風險管理體系,累積了豐富的電子元器件行業(yè)管理經(jīng)驗,擁有一大批專業(yè)人才。公司坐落于長興路363號,業(yè)務覆蓋于全國多個省市和地區(qū)。持續(xù)多年業(yè)務創(chuàng)收,進一步為當?shù)亟?jīng)濟、社會協(xié)調(diào)發(fā)展做出了貢獻。

本文來自北京高格智勝科技有限公司:http://city8.sh.cn/Article/223e1199765.html

    45 人參與回答
最佳回答
上海鋁衛(wèi)生間門批發(fā)價

上海鋁衛(wèi)生間門批發(fā)價

隨著 等 46 人贊同該回答

隨著人價值觀的轉(zhuǎn)變,節(jié)能環(huán)保型產(chǎn)品逐漸受到大眾追捧,性價比更是人們評判好產(chǎn)品的標準,自此全鋁室內(nèi)門行業(yè)進入快速發(fā)展階段。鋁門經(jīng)過良好的表面處理后,具有良好的抗大氣腐蝕的能力,不怕潮濕,不怕陽光照曬,高 。

廣東四氟管鐵氟龍熱縮管平均價格
廣東四氟管鐵氟龍熱縮管平均價格
第1樓
鐵氟 等 71 人贊同該回答

鐵氟龍熱縮管是是什么鐵氟龍熱縮管采用質(zhì)量fep材料擠出擴張而成,具有突出的耐磨性能、耐油性能、耐化學腐蝕性能和高溫性能。適用于需要高溫性的場合,用于連接焊接處的絕緣保護和壓力解除及被覆元件的區(qū)識別。鐵 。

廣東水成膜抗溶泡沫滅火劑哪種好用
廣東水成膜抗溶泡沫滅火劑哪種好用
第2樓
水成 等 75 人贊同該回答

水成膜泡沫滅火劑以碳氫表面活性劑與氟碳表面活性劑為基料并能夠在某些烴類液體表面形成一層水膜的泡沫滅火劑。適用于撲滅水溶性液體燃料引起的火災。本產(chǎn)品的特點是什么?下面一起和小編來看看吧。本產(chǎn)品在滅火過程 。

室內(nèi)EPS泡沫巖線條生產(chǎn)廠家
室內(nèi)EPS泡沫巖線條生產(chǎn)廠家
第3樓
近幾 等 54 人贊同該回答

近幾年或近十幾年來,我國住建產(chǎn)業(yè)一直呈現(xiàn)旺盛的發(fā)展態(tài)勢,產(chǎn)業(yè)技術(shù)亦隨之而動,大批符合“四新技術(shù)”的工藝、設備、材料等在建筑中得以普遍運用,很大程度上的豐富了現(xiàn)代建筑的真正內(nèi)涵。其中,一種線型簡潔流暢、 。

新疆結(jié)晶氯化鋁生產(chǎn)企業(yè)
新疆結(jié)晶氯化鋁生產(chǎn)企業(yè)
第4樓
湖南 等 93 人贊同該回答

湖南綠脈環(huán)保科技股份有限公司高純結(jié)晶氯化鋁,含量高達98%,全部使用氫氧化鋁作原料,是碳酸鋰電池很好的原料。結(jié)晶氯化鋁工藝分類:a,滾筒式聚合)氯化鋁鋁含量一般,水不溶物高,多用于污水處理。b,板框式 。

遼寧什么是血液透析超純水機哪里有賣的
遼寧什么是血液透析超純水機哪里有賣的
第5樓
發(fā)展 等 18 人贊同該回答

發(fā)展中國家透析人數(shù)相對較少,但是增長迅速。近十年,中國、印度、巴西等國透析人數(shù)增長率達15%以上,遠高于歐美3%-5%的水平。而且,發(fā)展中國家晚期腎病患者接受透析醫(yī)療的比例為10%左右,遠低于歐美80 。

上海3d美式整脊床價格
上海3d美式整脊床價格
第6樓
美式 等 17 人贊同該回答

美式整脊床是什么技術(shù)呢?手法整復初學者或初入行者可能都有同樣的感受,看到整脊視頻中操作者示范,脊椎整復時常常聽到“咔噠”聲。但自己整復時怎么也弄不響。請不要著急,冰凍三尺非一日之寒,這需要一個較長時間 。

三明有色金屬復合板商家
三明有色金屬復合板商家
第7樓
研究 等 41 人贊同該回答

研究發(fā)現(xiàn),用二嗯烷鹽酸或二烷水在高溫下處理復合板,得到的酚類物質(zhì)是典型的木材木質(zhì)素降解產(chǎn)物。但木質(zhì)第木材木質(zhì)素也有差異,兩者存在不同的結(jié)構(gòu)單元,3,4二羥基苯基存在于樹皮木質(zhì)素中而不存在于木材木質(zhì)素中 。

新昌日立別墅電梯
新昌日立別墅電梯
第8樓
電梯 等 86 人贊同該回答

電梯分類比例:住宅電梯60%,辦公賓館20%,自動扶梯15%,其他5%。電梯分類乘客電梯,為運送乘客設計的電梯,要求有完善的安全設施以及一定的轎內(nèi)裝飾。載貨電梯,主要為運送貨物而設計,通常有人伴隨的電 。

安徽進口McMaster-Carr廠家價格
安徽進口McMaster-Carr廠家價格
第9樓
用于 等 14 人贊同該回答

用于牢固軟管和管道的。易于安裝的卡扣夾安裝這些夾具非常簡單——用手指將它們的互鎖齒推到一起,然后用鉗子夾緊。要移除,請使用鉗子向側(cè)面推動并分離牙齒。夾具重量輕,具有出色的耐腐蝕性和耐化學性。它們適用于 。

鄭州臥室裝飾材料
鄭州臥室裝飾材料
第10樓
室內(nèi) 等 29 人贊同該回答

室內(nèi)墻面裝修材料之人造大理石:輕奢風格的裝修,電視背景墻這些地方的墻面,還可以選擇人造大理石,人造大理石是瓷磚上墻的升級版,因為瓷磚的紋理、瓷磚小縫隙多,因此在一些高級次的家庭裝修中,人造大理石的電視 。

此站點為系統(tǒng)演示站,內(nèi)容轉(zhuǎn)載自互聯(lián)網(wǎng),所有信息僅做測試用途,不保證內(nèi)容的真實性。不承擔此類 作品侵權(quán)行為的直接責任及連帶責任。

如若本網(wǎng)有任何內(nèi)容侵犯您的權(quán)益,侵權(quán)信息投訴/刪除進行處理。聯(lián)系郵箱:10155573@qq.com

Copyright ? 2005 - 2024 北京高格智勝科技有限公司 All Rights Reserved 網(wǎng)站地圖

淮南市| 安庆市| 龙山县| 得荣县| 靖西县| 漳浦县| 民权县| 济宁市| 莆田市| 双桥区| 株洲市| 会东县| 泰安市| 崇左市| 南京市| 无棣县| 诸城市| 南雄市| 柏乡县| 富宁县| 梅州市| 资阳市| 淳化县| 泸定县| 油尖旺区| 锡林郭勒盟| 东乡族自治县| 盐山县| 达孜县| 新邵县| 元氏县| 秦皇岛市| 镇赉县| 乌拉特后旗| 甘德县| 大埔区| 合江县| 宝应县| 泾源县| 贡嘎县| 中宁县|