北京高格智勝科技有限公司

貴州直流磁控濺射技術(shù)

發(fā)布時(shí)間:    來(lái)源:北京高格智勝科技有限公司   閱覽次數(shù):3654次

PVD技術(shù)特征如下:在真空室內(nèi)充入放電所需要的惰性氣體,在高壓電場(chǎng)作用下氣體分子因電離而產(chǎn)生大量正離子。帶電離子被強(qiáng)電場(chǎng)加速,便形成高能量的離子流轟擊蒸發(fā)源材料。在離子轟擊下,蒸發(fā)源材料的原子將離開固體表面,以高速度濺射到基片上并沉積成薄膜。RF濺射:RF濺射使用的頻率約為13.56MHz,它不需要熱陰極,能在較低的氣壓和較低的電壓下進(jìn)行濺射。RF濺射不只可以沉積金屬膜,而且可以沉積多種材料的絕緣介質(zhì)膜,因而使用范圍較廣。電弧離子鍍:陰極弧技術(shù)是在真空條件下,通過(guò)低電壓和高電流將靶材離化成離子狀態(tài),從而完成薄膜材料的沉積,該技術(shù)材料的離化率更高,薄膜性能更加優(yōu)異。不同的金屬、合金、氧化物能夠進(jìn)行混合,同時(shí)濺射于基材上。貴州直流磁控濺射技術(shù)

貴州直流磁控濺射技術(shù),磁控濺射

磁控濺射技術(shù)有:直流濺射法。直流濺射法要求靶材能夠?qū)碾x子轟擊過(guò)程中得到的正電荷傳遞給與其緊密接觸的陰極,從而該方法只能濺射導(dǎo)體材料。因?yàn)檗Z擊絕緣靶材時(shí),表面的離子電荷無(wú)法中和,這將導(dǎo)致靶面電位升高,外加電壓幾乎都加在靶上,兩極間的離子加速與電離的機(jī)會(huì)將變小,甚至不能電離,導(dǎo)致不能連續(xù)放電甚至放電停止,濺射停止。故對(duì)于絕緣靶材或?qū)щ娦院懿畹姆墙饘侔胁?,須用射頻濺射法。濺射過(guò)程中涉及到復(fù)雜的散射過(guò)程和多種能量傳遞過(guò)程:入射粒子與靶材原子發(fā)生彈性碰撞,入射粒子的一部分動(dòng)能會(huì)傳給靶材原子;某些靶材原子的動(dòng)能超過(guò)由其周圍存在的其它原子所形成的勢(shì)壘,從而從晶格點(diǎn)陣中被碰撞出來(lái),產(chǎn)生離位原子;這些離位原子進(jìn)一步和附近的原子依次反復(fù)碰撞,產(chǎn)生碰撞級(jí)聯(lián);當(dāng)這種碰撞級(jí)聯(lián)到達(dá)靶材表面時(shí),如果靠近靶材表面的原子的動(dòng)能大于表面結(jié)合能,這些原子就會(huì)從靶材表面脫離從而進(jìn)入真空。安徽高溫磁控濺射技術(shù)磁控濺射沉積速度快、基材溫升低、對(duì)膜層的損傷小。

貴州直流磁控濺射技術(shù),磁控濺射

磁控濺射技術(shù)原理如下:電子在電場(chǎng)的作用下加速飛向基片的過(guò)程中與氬原子發(fā)生碰撞,電離出大量的氬離子和電子,電子飛向基片。氬離子在電場(chǎng)的作用下加速轟擊靶材,濺射出大量的靶材原子,呈中性的靶原子沉積在基片上成膜。二次電子在加速飛向基片的過(guò)程中受到磁場(chǎng)洛倫茲力的影響,被束縛在靠近靶面的等離子體區(qū)域內(nèi),該區(qū)域內(nèi)等離子體密度很高,二次電子在磁場(chǎng)的作用下圍繞靶面作圓周運(yùn)動(dòng),該電子的運(yùn)動(dòng)路徑很長(zhǎng)。在運(yùn)動(dòng)過(guò)程中不斷的與氬原子發(fā)生碰撞電離出大量的氬離子轟擊靶材,經(jīng)過(guò)多次碰撞后電子的能量逐漸降低,擺脫磁力線的束縛,遠(yuǎn)離靶材,較終沉積在基片上。磁控濺射就是以磁場(chǎng)束縛和延長(zhǎng)電子的運(yùn)動(dòng)路徑,改變電子的運(yùn)動(dòng)方向,提高工作氣體的電離率和有效利用電子的能量。電子的歸宿不只只是基片,真空室內(nèi)壁及靶源陽(yáng)極也是電子歸宿。但一般基片與真空室及陽(yáng)極在同一電勢(shì)。

磁控濺射是物理的氣相沉積的一種,也是物理的氣相沉積中技術(shù)較為成熟的。磁控濺射的工作原理是電子在電場(chǎng)的作用下,在飛向基材過(guò)程中與氬原子發(fā)生碰撞,電離出氬正離子和新的電子;新電子飛向基材,氬正離子在電場(chǎng)作用下加速飛向陰極靶,并以高能量轟擊靶表面,使靶材發(fā)生濺射;在濺射粒子中,中性的靶原子或分子沉積在基材上形成薄膜。磁控濺射技術(shù)制備的薄膜具有硬度高、強(qiáng)度大、耐磨性好、摩擦系數(shù)低、穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn)。磁控濺射鍍膜工藝過(guò)程簡(jiǎn)單,對(duì)環(huán)境無(wú)污染,耗材少,成膜均勻致密,與基材的結(jié)合力強(qiáng)。這種技術(shù)廣泛應(yīng)用于航空航天、電子、光學(xué)、機(jī)械、建筑、輕工、冶金、材料等領(lǐng)域,是太陽(yáng)選擇性吸收涂層更理想的制備方法。磁控濺射是在外加電場(chǎng)的兩極之間引入一個(gè)磁場(chǎng)。

貴州直流磁控濺射技術(shù),磁控濺射

直流濺射的結(jié)構(gòu)原理如下:真空室中裝有輝光放電的陰極,靶材就裝在此極表面上,接受離子轟擊;安裝鍍膜基片或工件的樣品臺(tái)以及真空室接地,作為陽(yáng)極。操作時(shí)將真空室抽至高真空后,通入氬氣,并使其真空度維持在1.0Pa左右,再加上2-3kV的直流電壓于兩電極之上,即可產(chǎn)生輝光放電。此時(shí),在靶材附近形成高密度的等離子體區(qū),即負(fù)輝區(qū)該區(qū)中的離子在直流電壓的加速下轟擊靶材即發(fā)生濺射效應(yīng)。由靶材表面濺射出來(lái)的原子沉積在基片或工件上,形成鍍層。脈沖磁控濺射可以提高濺射沉積速率,降低沉積溫度。北京直流磁控濺射過(guò)程

磁控濺射鍍膜的應(yīng)用領(lǐng)域:建材及民用工業(yè)中。貴州直流磁控濺射技術(shù)

磁控濺射是在陰極靶的表面上方形成一個(gè)正交電磁場(chǎng),當(dāng)濺射產(chǎn)生的二次電子在陰極位降區(qū)內(nèi)被加速為高能電子后,并不直接飛向陽(yáng)極,而是在正交電磁場(chǎng)作用下作來(lái)回振蕩的近似擺線的運(yùn)動(dòng)。高能電子不斷與氣體分子發(fā)生碰撞并向后者轉(zhuǎn)移能量,使之電離而本身變成低能電子。這些低能電子較終沿磁力線漂移到陰極附近的陽(yáng)極而被吸收,避免高能電子對(duì)極板的強(qiáng)烈轟擊,消除了二極濺射中極板被轟擊加熱和被電子輻照引起的損傷,體現(xiàn)出磁控濺射中極板“低溫”的特點(diǎn)。由于外加磁場(chǎng)的存在,電子的復(fù)雜運(yùn)動(dòng)增加了電離率,實(shí)現(xiàn)了高速濺射。磁控濺射的技術(shù)特點(diǎn)是要在陰極靶面附件產(chǎn)生與電場(chǎng)方向垂直的磁場(chǎng),一般采用永久磁鐵實(shí)現(xiàn)。貴州直流磁控濺射技術(shù)

廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所目前已成為一家集產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)、銷售相結(jié)合的服務(wù)型企業(yè)。公司成立于2016-04-07,自成立以來(lái)一直秉承自我研發(fā)與技術(shù)引進(jìn)相結(jié)合的科技發(fā)展戰(zhàn)略。公司具有微納加工技術(shù)服務(wù),真空鍍膜技術(shù)服務(wù),紫外光刻技術(shù)服務(wù),材料刻蝕技術(shù)服務(wù)等多種產(chǎn)品,根據(jù)客戶不同的需求,提供不同類型的產(chǎn)品。公司擁有一批熱情敬業(yè)、經(jīng)驗(yàn)豐富的服務(wù)團(tuán)隊(duì),為客戶提供服務(wù)。芯辰實(shí)驗(yàn)室,微納加工以符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的產(chǎn)品質(zhì)量為目標(biāo),并始終如一地堅(jiān)守這一原則,正是這種高標(biāo)準(zhǔn)的自我要求,產(chǎn)品獲得市場(chǎng)及消費(fèi)者的高度認(rèn)可。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所通過(guò)多年的深耕細(xì)作,企業(yè)已通過(guò)電子元器件質(zhì)量體系認(rèn)證,確保公司各類產(chǎn)品以高技術(shù)、高性能、高精密度服務(wù)于廣大客戶。歡迎各界朋友蒞臨參觀、 指導(dǎo)和業(yè)務(wù)洽談。

本文來(lái)自北京高格智勝科技有限公司:http://city8.sh.cn/Article/223f5999717.html

    16 人參與回答
最佳回答
杭州麻面石材納米防水抗污劑報(bào)價(jià)

杭州麻面石材納米防水抗污劑報(bào)價(jià)

納米 等 74 人贊同該回答

納米防水抗污劑的特殊結(jié)構(gòu)能夠有效防止水分滲透,使物體表面保持干燥,防止氧化腐蝕等問(wèn)題的發(fā)生,因此普遍應(yīng)用于建筑、工業(yè)、輕工等領(lǐng)域。納米防水抗污劑具有很好的耐腐蝕性能。采用了高耐性材料制成的納米防水抗污 。

溫州海派限時(shí)達(dá)服務(wù)
溫州海派限時(shí)達(dá)服務(wù)
第1樓
加拿 等 71 人贊同該回答

加拿大雙清包稅限時(shí)達(dá),有以下4個(gè)方面的服務(wù)優(yōu)勢(shì):1、支持五大區(qū)域配送,運(yùn)輸時(shí)效穩(wěn)定云港物貿(mào)通根據(jù)客戶的需求,推出定制化、針對(duì)性的海運(yùn)服務(wù)。加拿大全域?qū)>€,5個(gè)區(qū)域路線任選,不受國(guó)際海運(yùn)價(jià)格的影響,運(yùn)輸 。

海原古法制香療效
海原古法制香療效
第2樓
焚香 等 52 人贊同該回答

焚香圖中國(guó)文人大多愛(ài)香,不知是時(shí)刻不可離的香使中國(guó)文人創(chuàng)造了迥異于西方的文化模式和文藝作品,還是因?yàn)槲娜藧?ài)香而促進(jìn)了香文化的發(fā)展,總之,香在中國(guó)文化中的地位和作用十分獨(dú)特。它既是文人生活中不可缺少的一 。

杭州黑色瀝青路面改色
杭州黑色瀝青路面改色
第3樓
彩色 等 96 人贊同該回答

彩色透水混凝土施工前準(zhǔn)備:1、施工現(xiàn)場(chǎng)已達(dá)到“一平三通”,即施工場(chǎng)地平整、水通、電通、路通。施工場(chǎng)地符合原料堆放條件,設(shè)備安裝已經(jīng)完成,施工機(jī)械進(jìn)場(chǎng)滿足施工要求。2、基層、基層施工已經(jīng)達(dá)到設(shè)計(jì)標(biāo)高,基 。

個(gè)性化3D打印汽車專業(yè)服務(wù)
個(gè)性化3D打印汽車專業(yè)服務(wù)
第4樓
在3 等 67 人贊同該回答

在3D打印溫度計(jì)套管樣件的過(guò)程中為了應(yīng)對(duì)各種可能的意外,溫度計(jì)套管還要求具有良好的氣密性,否者水氣進(jìn)入溫度計(jì)內(nèi)部或者接插件內(nèi),都將使溫度計(jì)發(fā)生短路現(xiàn)象,喪失正常運(yùn)行的功能,導(dǎo)致失去對(duì)核電廠意外時(shí)溫度的 。

成都飼料添加劑精細(xì)化學(xué)品哪家好
成都飼料添加劑精細(xì)化學(xué)品哪家好
第5樓
涂料 等 44 人贊同該回答

涂料精細(xì)化學(xué)品的生產(chǎn)過(guò)程需要遵循一系列標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)定,以確保產(chǎn)品質(zhì)量和安全性。以下是其中一些標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)定:1、化學(xué)品管理法規(guī):生產(chǎn)過(guò)程需要遵循國(guó)家和地方頒布的化學(xué)品管理法規(guī),確?;瘜W(xué)品生產(chǎn)、儲(chǔ)存、運(yùn)輸和銷售 。

長(zhǎng)寧區(qū)原裝硒鼓回收聯(lián)系方式
長(zhǎng)寧區(qū)原裝硒鼓回收聯(lián)系方式
第6樓
很多 等 27 人贊同該回答

很多人和客戶溝通的時(shí)候,只解決了耗材、成本,在座這么多賣耗材的,惠普會(huì)不會(huì)因?yàn)槲覀兌噘u那一只耗材、它就少賣了?惠普的營(yíng)業(yè)額仍然增長(zhǎng)。剛才我轉(zhuǎn)了一圈,這個(gè)場(chǎng)子已經(jīng)變成復(fù)印機(jī)耗材的展會(huì),那你再問(wèn)自己,非原 。

揭陽(yáng)SMT雅馬哈貼片機(jī)一級(jí)代理商
揭陽(yáng)SMT雅馬哈貼片機(jī)一級(jí)代理商
第7樓
我們 等 91 人贊同該回答

我們可能都知道印刷機(jī)上的每一驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的實(shí)際性能均通過(guò)計(jì)算,以滿足對(duì)加速性能的比較好配合。相應(yīng)地,印刷速度也通過(guò)計(jì)算確定,從而使印刷機(jī)具有比較好潛能。yamaha貼片機(jī)這一效率與安全性設(shè)計(jì)理念已以曲線形 。

河南免檢燃?xì)庹羝l(fā)生器哪家強(qiáng)
河南免檢燃?xì)庹羝l(fā)生器哪家強(qiáng)
第8樓
燃?xì)?等 61 人贊同該回答

燃?xì)庹羝l(fā)生器是鍋爐的一種,它是指以可燃?xì)怏w為燃料,向鍋爐輸入熱量,鍋爐輸出含有熱能的蒸汽、高溫水,按具體使用的燃料、產(chǎn)品結(jié)構(gòu)、煙氣流程、鍋爐本體材料、燃燒方式等因素的不同,燃?xì)庹羝l(fā)生器又可分為很多 。

云南六軸機(jī)器人
云南六軸機(jī)器人
第9樓
桁架 等 72 人贊同該回答

桁架機(jī)器人的優(yōu)勢(shì)有哪些呢?下面我們一起來(lái)了解下吧。桁架機(jī)器人可以做一些高危工作,提高了工作的廣度和寬度。提高了勞動(dòng)效率。上下料桁架機(jī)器人日常維護(hù)簡(jiǎn)單。相比工人而言,的提高了效率。桁架機(jī)器人避免工傷事故 。

揚(yáng)州行車卷筒電纜價(jià)格
揚(yáng)州行車卷筒電纜價(jià)格
第10樓
常見 等 23 人贊同該回答

常見的電纜卷筒驅(qū)動(dòng)方式:Hydrodynamics傳動(dòng)方式這種傳動(dòng)方式是在減速箱里加裝一套靠油膜傳遞扭矩的濕式離合器來(lái)直接驅(qū)動(dòng)電纜卷盤。和上述兩種電纜卷盤相比,具有扭矩大,傳動(dòng)特性軟和響應(yīng)快(這種油液 。

此站點(diǎn)為系統(tǒng)演示站,內(nèi)容轉(zhuǎn)載自互聯(lián)網(wǎng),所有信息僅做測(cè)試用途,不保證內(nèi)容的真實(shí)性。不承擔(dān)此類 作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。

如若本網(wǎng)有任何內(nèi)容侵犯您的權(quán)益,侵權(quán)信息投訴/刪除進(jìn)行處理。聯(lián)系郵箱:10155573@qq.com

Copyright ? 2005 - 2024 北京高格智勝科技有限公司 All Rights Reserved 網(wǎng)站地圖

东乌| 朔州市| 红桥区| 淮阳县| 正定县| 武冈市| 昌吉市| 阿拉善右旗| 富顺县| 铜鼓县| 拜泉县| 浠水县| 东乡| 满洲里市| 万源市| 白朗县| 焦作市| 蒙山县| 宝清县| 汝阳县| 沽源县| 台南市| 安龙县| 陇川县| 桐柏县| 贵定县| 万安县| 马关县| 富川| 凤台县| 金门县| 洱源县| 夏津县| 原阳县| 肇源县| 如皋市| 平安县| 沾化县| 辽阳县| 陈巴尔虎旗| 鹿邑县|